Prozeß- und Bauteilsimulation in der Mikrotechnik
Prozeß- und Bauteilsimulation in der Mikrotechnik Dipl.-Phys. Thomas Fabula Fortbildungsseminar: “Technologien zur Herstellung mikromechanischer Bauelemente” Hahn-Schickard-Institut für Mikro- und Informationstechnik Villingen-Schwenningen 17.-18. Februar 1992 Das Seminar gibt einen detaillierten Überblick über die Technologien, die bei der Herstellung mikromechanischer Bauelemente Verwendung finden und zeigt darüber hinaus einige exemplarische Anwendungsmöglichkeiten im Hinblick … Continue reading Prozeß- und Bauteilsimulation in der Mikrotechnik
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