Grundlagen der Mikromechanik Dissertation – Kapitel 1   Die Mikromechanik ist ein junger interdisziplinärer Forschungsbereich, der den Technologievorrat der Mikroelektronik nutzt, um miniaturisierte Bauelemente hauptsächlich aus Silizium für verschiedene Anwendungsbereiche zu realisieren. Sie befaßt sich mit dem Entwurf, der Herstellung und der Anwendung mechanischer Strukturen und Systeme, die zumindest in einer Dimension eine Abmessung im … Continue reading Grundlagen der Mikromechanik