Dynamical modeling of microsystems

Dynamische Berechnungen in der Mikromechanik – Simulation / Messung   Th. Fabula, Hahn-Schickard-Institut für Mikro- und Informationstechnik, VS-Villingen.   Bei der Realisierung von mikromechanischen Systemen sind für die Bauelementfunktion die technologisch zu realisierenden Funktionsprinzipien und die prozeßtechnischen Randbedingungen bereits in der Entwurfsphase zu berücksichtigen. Reale mikromechanische Komponenten zeigen aufgrund der Miniaturisierung und des hohen Integrationsgrades…