Entwurf und Auslegung mikromechanischer Strukturen

Invited contribution at Industry-University-Workshop on   Numerical Modelling and Simulation of Sensors   Workshop-Programm Kapazitive Sensoren, Dipl.-Ing. J.G. Korvink Thermoelektrische Effekte in Halbleiter-Devices, Dipl.-Ing. K. Kells Magnetischer Flusskonzentrator für Hall Sensoren, Dr. M. Roos Vertical Hall Sensoren, Dr. J.F. Buergler Teilnehmerthema: Hahn-Schickard-Institut, VS-Villingen, Deutschland: Entwurf und Auslegung mikromechanischer Strukturen, Dipl.-Phys. Thomas Fabula HW/SW-Infrastruktur für Simulationen…